新華財經上海3月31日電（記者李興彩）國家集成電路產業投資基金（簡稱“大基金”）正在圍繞半導體產業，一步一步扎牢產業基礎。最新的動向是，大基金開始布局半導體設備零部件。

3月30日晚間，萬業企業披露，大基金二期、上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業（有限合伙）（簡稱“裝備材料基金”）擬向公司參股子公司浙江鐠芯分別增資3.5億元、0.4億元。這也是大基金首次布局半導體零部件公司。本次增資后，公司仍為浙江鐠芯第一大股東持股29.63%，大基金二期持股17.284%。

根據公告，2020年12月，萬業企業聯合境內外投資人以浙江鐠芯和鐠芯控股為持股主體收購Compart Systems Pte. Ltd.（簡稱“Compart公司”）100%股權，交易價格為3.98億美元。浙江鐠芯直接持有鐠芯控股73.11%股權，鐠芯控股直接持有Compart 公司100%股權。截至2021年12月31日評估基準日，Compart 公司股東全部權益為27.86億元，各方確認浙江鐠芯投前估值為15.85億元。

公開資料顯示，Compart 公司是全球領先的半導體設備所需的零部件供應商，也是全球極少數可完成流量控制領域零組件精密加工全部環節的公司之一，產品主要包括氣體輸送零部件、組件、密封件、氣棒總成、質量流量控制器（MFC）等，是集成電路行業中高端MFC組件的領先者，公司在中國深圳及馬來西亞庫林擁有兩座工廠。憑借獨特的密封件制造工藝和技術，公司多年來服務多家全球知名集成電路設備客戶且供應關系穩定保持。

在收購Compart公司后，萬業企業還抓住半導體設備高景氣機遇，于去年6月簽約海寧啟動Compart制造中心項目，總投資約30億元。目前，Compart 公司相關產品已打入國內半導體設備公司供應鏈，營收持續增長。據悉，浙江鐠芯2021年度營業收入約9.2億元。

增資浙江鐠芯是大基金首次布局半導體設備零部件領域，意味著其對半導體零部件環節未來發展前景的看好和重視，有助于打造更為完整的本土半導體產業生態圈。

目前，萬業企業已在原有的集成電路離子注入機設備基礎上疊加了刻蝕機、快速熱處理/褪火、薄膜沉積、單片清洗機、槽式清洗機、尾氣處理、機械手臂等多款前道設備，形成“1+N”產品平臺模式。

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